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革命性压力瞬态不敏感(PTI)质量流量控制器用于半导体制造
编辑: 来源: 发布时间:2018-11-16

     彻底改变半导体制造商的先进过程控制- 全球领先的先进流量,压力,真空,液位和蒸汽输送解决方案供应商澳门葡京娱乐厂推出革命性压力瞬态不敏感(PTI)质量流量控制器用于半导体制造。质量流量控制器通过实时积分衰减流量测量和先进的诊断功能提高了产量和正常运行时间,以验证精度,检查阀门泄漏情况并监控传感器漂移,而无需停止生产晶圆。这些改变游戏规则的功能可为制造工厂节省数千美金的日常成本。

 
    澳门葡京娱乐厂质量流量控制器提供市场领先的工艺气体精度和超快的流动稳定时间,缩短了工艺循环时间。该设备使用正在申请专利的实时衰减流量误差检测技术来持续测试设备性能的变化。数据可用于提高关键低流量设定点的准确度,设置关键性能参数的警报限值并监控预测性维护的趋势。这些诊断有助于在问题发生之前识别和纠正问题,从而防止停机和浪费的晶圆。
 
    与其他质量流量控制器不同,该系列具有“更智能”的功能,具有先进的零点漂移和阀门泄漏诊断功能。板载诊断测井,零稳定性趋势和校正以及阀门腐蚀或堵塞的早期检测使半导体制造商能够实现更严格的公差并保持蚀刻轮廓和关键尺寸的均匀性。这些功能的结合使其能够为半导体企业提供卓越的精度和成本节约。
 

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