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压力控制器具有自动维护指示和优异的抗污染功能
编辑: 来源: 发布时间:2018-11-10

     澳门葡京娱乐厂压力控制器可确保非常快速和准确的压力控制。安装升级后,首次启动时,系统参数会在工具中自动设置。自适应算法控制器不断适应工艺条件(气体种类,气体流量),从而确保随时实现最佳压力控制。

 
    压力控制器用于限制前体剂量步骤期间的泵送。对于缓慢反应的前体,或者当需要沉积成高纵横比特征时,通常需要长曝光时间。
 
压力控制器具有自动维护指示和优异的抗污染功能
 
    澳门葡京娱乐厂压力控制器特点与优势:
    增加前体反应缓慢的前体效率(例如铪)。
    允许沉积成高纵横比功能。
    采样率:10毫秒。
    控制精度:5 mV或最大传感器范围的0.1%,以较大者为准。
    步进分辨率:20 000(步长= 0 - 90°旋转)。
    控制阀具有快速且强劲的实行器。
    高性能,集成控制器。
    极短的控制响应时间和位置指示。
    自动维护指示。
    优异的抗污染过程。

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