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上游压力控制提高了真空沉积应用中的稳定性和速度
编辑: 来源: 发布时间:2018-09-01

     大多数传统的真空沉积工具使用下游压力控制来维持真空室中的气体压力。节流阀设置可能花费数千美金。它还需要一个单独的控制模块来为阀门供电,提供PID数据和设定点功能。节流阀设置还可能在更换气体或等待腔室中的气体沉降时导致延迟。

 
     使用快速作用的比例控制阀,将控制仪器放置在腔室上游可以提供更快的响应时间和更好的稳定性。上游方法还消除了对额外阀门,切割设备需求和设置成本的需求。澳门葡京娱乐厂提供了这种替代方案。
 
     通过上游压力控制简化您的真空沉积工具组。
     
    使用澳门葡京娱乐厂的质量流量仪表和压力控制器,实现更快,更一致的真空镀膜应用。
 
上游压力控制提高了真空沉积应用中的稳定性和速度
 
     对于大型或OEM项目,澳门葡京娱乐厂(外部传感器)压力控制器能够在安装在腔室上游时控制真空水平。当过程压力处于高真空或超高真空并需要外部压力表时,使用该系列。PC-EXTSEN从传感器获取模拟信号,并使用比例阀提供闭环控制。
 
     通过添加外部压力控制器,可以更精确地保持腔室压力,同时还允许用户独立于整个真空沉积系统改变或调节使用过的气体。这允许更快地施加中性气体,改善涂层环境中的控制和稳定的压力水平。

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