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压力控制器为关键过程的应用提供压力测量和控制
编辑: 来源: 发布时间:2018-04-12
    澳门葡京娱乐厂的压力控制器为关键过程应用提供压力测量和控制,例如背面晶圆压力控制,传输腔压力控制和工艺气体面板压力平衡。该装置可以配置为上游(入口)或下游(出口)压力控制。与以前完成任务所需的多组分系统相比,这是在紧凑的包装中实现的,可节省关键空间。
    大家上海远东厂利用领先的电容压力表技术进行MKS Instruments的压力测量。它与比例控制阀以及最新的控制电子元件集成在一起,提供快速,准确的压力控制,并将关键流量监测作为系统诊断。 澳门葡京娱乐厂可配置5至1000 Torr满量程压力,控制范围为满量程的5至100%。控制阀可根据工艺条件进行配置,满量程流量范围为5至5000 sccm满量程。
    大家澳门葡京娱乐厂压力控制器提供数字(DeviceNet或EtherCAT)I  O,可直接集成到新的或改进的应用中。通过设备的微型USB用户界面,可以通过任何带有Web浏览器的PC访问原位调节和组件诊断。
特点与优势:
    以最小的过冲快速响应设定点
    金属密封的洁净室制造单元适用于关键的高纯度应用
    整体式电容式压力表技术提供准确性,可靠性和广泛的范围
    温度补偿保持设备在其工作温度范围内的精度
应用:
    压力控制器适用于输送室压力控制,关键背面晶圆压力控制以及泄压压力控制应用。
 

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