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数字DPC双区压力控制器是高度集成的闭环压力控制子系统
编辑: 来源: 发布时间:2018-03-23

     双区压力控制器(DPC)是一款高度集成的闭环压力控制子系统。它由一个入口气动截止阀,两个独立的带质量流量计压力控制通道和一个真空出口组成。 DPC双区压力控制器的每个压力控制通道由一个压力传感器,一个控制阀和一个质量流量计组成,与649带整体式质量流量计的压力控制器类似。

    DPC双区压力控制器旨在降低背面晶圆冷却用压力控制子系统的总体拥有成本,特别是最新的双区静电卡盘(图1)。
 
  双区压力控制器
    压力控制器的特点与优势:
    完全集成解决方案
    完整的背面晶圆冷却子系统,结构紧凑
    两个独立的压力控制通道,每个都有质量流量计量
    可用于模拟或DeviceNet通信
    更小,更简单,成本更低
    通过单封装集成,尺寸和复杂性大大降低
    所需的管道和布线较少
    可以用于需要独立压力控制和质量流量计量到两个不同体积的任何应用
    先进的过程控制
    压力测量精度为设定点的±0.5%
    快速设置点的可调响应,无超调
    控制稳定性为设定值的±0.1%
 
 
    如图2所示,DPC双区压力控制器由三部分组成 - 进口组件,压力控制/流量计量组件和出口组件。加压氦气供入进口组件。然后打开一个气动阀门,气流被分成两个通道。
DPC双区压力控制器的组成
 
    在压力控制部分,澳门葡京娱乐厂的电容式压力控制器测量两个区域的压力。将这些压力与压力设定值进行比较,并通过适当的信号调节涡街控制阀的位置,使实际压力与设定值一致。同时,每个通道的质量流量都通过校准了氦气的流量计进行监测,这是用于背面晶片冷却的典型气体。
    在DPC双区压力控制器的压力控制部分的下游,出口分组件将流体引导至静电吸盘,并通过固定孔向真空提供受控的“渗流”。
    出血的目的是确保压力控制系统不是“死胡同”。由于通过晶片的泄漏通常非常低,所以受控制的泄放提供额外的压力释放,以更地响应设定点。根据流量传感器的满量程范围使用两种不同的孔口尺寸。在带10和20 sccm FS流量传感器的DPC双区压力控制器单元上使用较小的孔口尺寸,在带50和100 sccm FS流量传感器的DPC双区压力控制器上使用较大的孔口尺寸。在9托的控制压力下,较小的孔口尺寸将3.5±1.5sccm He输送到倾卸管线。较大的孔口的尺寸设定为在14托的控制压力下将13.0±3.0sccm的He流入倾卸管线。
    通信和控制
    DPC双区压力控制器的模拟和DeviceNet版本都可用。对于DPC双区压力控制器的模拟版本,电源的供电电压为±15 VDC。压力设定点和读数信号为0-10 VDC,流量传感器读数信号为0-5 VDC。十位增益和积分(P&I)项旋转开关为调节压力控制性能提供了一个宽动态范围。为每个通道提供P&I开关以进行独立调谐。
    数字DPC双区压力控制器具有数字控制电子元件和DeviceNet兼容通讯功能。每个通道的DPC双区压力控制器DeviceNet配置文件基本上将用于质量流量感测的S模拟传感器对象添加到过程控制阀对象。每个通道都有自己独特的MAC ID,每个DeviceNet规格可以由两台交换机进行用户设置。为了优化压力控制性能,用户可以使用DPC双区压力控制器的DeviceNet通信协议调整每个通道的增益,积分和差分(P,I,D)常数。

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