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精确质量流量控制提高真空镀膜效果
编辑: 来源: 发布时间:2017-11-22

 精确质量流量控制提高真空镀膜效果

图1.jpg

上海远东MCE和均匀红细胞体积(MCV)系列是为一般工业质量流量控制器直接替换2016年10月28-30日,-上海远东质量流量控制器在真空环境下确保在油漆房间最好的油漆,坚持产品的完整性和溅射工艺。一系列的心肌声学造影(MCE)系列和均匀红细胞体积     MCV)可以用来取代传统仪器和终止。将相同的制造质量流量控制器安装到公共空间,这两个系列很容易集成到现有系统中。在使用中,它们提供快速准确的流动性和质量控制过程。

图2.jpg

气体流量下降到0.5 SCCM全或0-20 SLPM满量程的50100毫秒的曝光时间的精确控制,高控制。快速曝光时间可以大大改善真空镀膜最终产品,有助于消除政策中毒。一般气动闭锁阀是常闭,可阻挡1×10-9 ATM SCCM /秒氦最大。

MCE取代传统的MKS 1179a流量®,而MCV代替MKS 2179a流量。上海远东质量流量控制器运行在一个共同的12 VDC电源并将自行调整匹配针或15D-sub连接器的任何预先存在的针,方便更换。该装置可任意安装,甚至倒置,无需调整即可进一步简化装置。

预先86气体校准,MCEMCV质量流量,体积流量,绝对压力和温度,温度压力补偿。该单元可以直接从表面键盘编程,也可以通过RS-232远程(也可用RS-485)编程。

MCEMCV利用专利层流差压(DP)在许多上海远东科学流表面与CE标志NIST提供的技术。

 

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